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白光干涉薄膜厚度測量儀Delta
白光干涉薄膜厚度測量儀Delta
白光干涉薄膜厚度測量儀Delta小.jpg
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產品特點

快速、準確、無損、靈活、易用、性價比高

應用案例

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半導體(SiO2/SiNx、光刻膠、MEMS,SOI等)、LCD/TFT/PDP(液晶盒厚、聚亞酰胺ITO等)?、LED (SiO2、光刻膠ITO等)、觸摸屏(ITO AR Coating反射/穿透率測試等)?、汽車(防霧層、Hard Coating DLC等)、醫學(聚對二甲苯涂層球囊/導尿管壁厚藥膜等)

技術參數

型號

Delta-VIS

Delta-DUV

Delta-NIR

波長范圍

380-1050nm

190-1100nm

900-1700nm

厚度范圍

50nm-40um

1nm-30um

10um-3mm

準確度1

2nm

1nm

10nm

精度

0.2nm

0.2nm

3nm

入射角

90°

90°

90°

樣品材料

透明或半透明

透明或半透明

透明或半透明

測量模式

反射/透射

反射/透射

反射/透射

光斑尺寸2

2mm

2mm

2mm

是否能在線

掃描選擇

XY可選

XY可選

XY可選

注:1.取決于材料0.4%或2nm之間取較大者。

? ? ? ?2.?可選微光斑附件。


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